臺(tái)階儀

簡(jiǎn)要描述：臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測(cè)量原理是:當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。

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更新日期：2025-02-12
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測(cè)量/計(jì)量?jī)x器

測(cè)振儀圓度儀/圓柱度儀粗糙度儀臺(tái)階儀輪廓儀

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臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測(cè)量原理是:當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測(cè)量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)以及波度等因素對(duì)粗糙度測(cè)量的影響。

臺(tái)階儀參數(shù)

項(xiàng) 目簡(jiǎn) 述	參數(shù)說明
1.共焦	可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)共焦技術(shù)。使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150倍) 全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉測(cè)量>: 72° vs 44°) 。具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率，附有5百萬自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī)，空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測(cè)量的理想配置。在測(cè)量表面粗糙度/表面反射率上無限制應(yīng)用于透明層/薄膜。兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。長(zhǎng)距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測(cè)量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。高穩(wěn)定性。
2.干涉儀（WLI）	Z向高分辨率兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式 Z向分辨率可獨(dú)立放大四色CCD 相機(jī)，用戶可自選的LED光源 (白光、綠光、藍(lán)光和紅光) 高達(dá)五百萬像素的可自動(dòng)分辨的CCD 相機(jī) 快速處理器自動(dòng)對(duì)焦
3.原子力顯微鏡	探針掃描可用于大型模板 X、Y、Z三向可達(dá)原子級(jí)分辨率大壓電探針掃描XY: 達(dá)到 110x110um
4.變焦	粗糙表面分析快速分析一臺(tái)設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀高精度原子力顯微鏡

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